X X X-RAY TRANSMISSION INSPECTION APPARATUS AND X-RAY TRANSMISSION INSPECTION METHOD

• Main Author: MATSUBARA SATOSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.08.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

[과제] 조사 각도의 차이가 큰 투과상이 얻어지고, 이물 위치의 깊이를 높은 정밀도로 얻을 수 있는 X선 투과 검사 장치 및 X선 투과 검사 방법을 제공하는 것이다. [해결 수단] 시료(S)에 대해 X선을 조사하는 X선원(2A, 2B)과, 시료에 대해 X선원과 반대 측에 설치되고 X선이 시료를 투과했을 때의 투과 X선을 검출하는 X선 센서(3A, 3B)와, 시료를 특정의 반송 방향으로 이동시키는 시료 이동 기구(4)와, X선 센서로 검출한 투과 X선에 의거하여 시료 중의 두께 방향에 있어서의 이물의 높이 위치를 산출하는 연산부(5)를 구비하고, X선원과 X선 센서가, 서로 1대1로 대응하는 조합으로 복수 쌍 설치되고, 복수 쌍의 각 X선원이, 시료의 두께 방향에 대해 서로 상이한 조사 각도로 X선을 시료에 조사하고, 복수 쌍의 각 X선 센서가, 대응하는 X선원으로부터 조사된 X선의 투과 X선만을 검출 가능하게 배치되어 있다. Proposed are an X-ray transmission inspection apparatus and an X-ray transmission inspection method, in which transmission images with a large difference between irradiation angles are obtained so that the depth of the position of a foreign object can be obtained with high precision. The apparatus includes an X-ray source, an X-ray sensor configured to detect a transmitted X-ray, a sample moving mechanism configured to move the sample in a specific transport direction, and a calculation part configured to calculate a height position of a foreign object in a thickness direction in the sample on the basis of the transmitted X-ray detected by the X-ray sensor, wherein the X-ray source and the X-ray sensor include X-ray sources and X-ray sensors, the X-ray sources irradiate the sample with x-rays, and the X-ray sensors are disposed to respectively detect only transmitted X-rays of X-rays from the corresponding X-ray sources.