X X X-RAY TRANSMISSION INSPECTION APPARATUS AND X-RAY TRANSMISSION INSPECTION METHOD

• Main Author: MATSUBARA SATOSHI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.08.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

[과제] 이물의 크기(평면적)를 보다 고정밀도로 구할 수 있는 X선 투과 검사 장치 및 X선 투과 검사 방법을 제공하는 것이다. [해결 수단] 시료에 대해 X선을 조사하는 X선원과, 시료에 대해 X선원과 반대측에 설치되며 X선이 시료를 투과했을 때의 투과 X선을 검출하는 X선 센서와, X선 센서로 검출한 투과 X선에 의거하여 시료 중의 이물의 평면적을 산출하는 연산부를 구비하고, 연산부가, X선의 조사 방향에 수직인 면에 있어서 투과 X선의 휘도에 따라 복수의 화소로 나눈 휘도 분포를 구하고, 휘도 분포 중에서 가장 휘도 저하량이 큰 최대 휘도 저하량에 대해 소정의 비율인 휘도 저하량 역치(R1) 이상의 휘도 저하량이 되는 화소의 수를 유효 화소수로서 산출하고, 유효 화소수에 의거하여 이물의 평면적을 산출한다. Proposed are an X-ray transmission inspection apparatus and an X-ray transmission inspection method, in which the size (planar area) a foreign object can be obtained with higher precision. The inspection apparatus includes an X-ray source configured to irradiate a sample with an X-rays, an X-ray sensor configured to detect transmitted X-rays, and a calculation part configured to calculate a planar area of a foreign object in the sample, wherein the calculation part obtains luminance distribution divided into a plurality of pixels according to luminance of the transmitted X-rays in a plane perpendicular to an irradiation direction of the X-rays, calculates, as numbers of effective pixels, numbers of the pixels having luminance reduction amounts greater than or equal to a luminance reduction threshold, and calculates the planar area of the foreign object based on the numbers of the effective pixels.