NON-DESTRUCTIVE CLASSIFICATION OF SPECIMENS BASED ON ENERGY SIGNATURE MEASUREMENTS

• Main Authors: SHEMESH DROR, HADAR URI, GIRMONSKY DORON, EILON MICHAL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 06.08.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

표본들의 비파괴 분류를 위한 시스템이 본원에서 개시된다. 시스템은 e-빔 소스, x-선 측정 모듈 및 컴퓨테이셔널 모듈을 포함한다. e-빔 소스는 하나 이상의 e-빔 랜딩 에너지들로 표본 상에 e-빔들을 투사하여 표본을 관통하고 x-선들의 방출을 유도하도록 구성된다. x-선 측정 모듈은 방출된 x-선들을 측정하도록 구성된다. 컴퓨테이셔널 모듈은 측정 데이터를 프로세싱하여 표본에 포함된 적어도 하나의 타깃 물질의 에너지 시그니처를 획득하고, 획득된 에너지 시그니처 및 하나 이상의 참조 표본들에 관련된 하나 이상의 참조 에너지 시그니처들에 각각 기초하여 검사 표본을 분류하도록 구성된다. Disclosed herein is a system for non-destructive classification of specimens. The system includes an e-beam source, an X-ray measurement module, and a computational module. The e-beam source is configured to project e-beams on a specimen at one or more e-beam landing energies, so as to penetrate the specimen and induce emission of X-rays. The X-ray measurement module is configured to measure the emitted X-rays. The computational module is configured to process the measurement data to obtain an energy signature of at least one target substance included in the specimen and classify the inspected specimen based on the obtained energy signature and one or more reference energy signatures pertaining to one or more reference specimens, respectively.