FAULT DETECTION USING SHOWERHEAD VOLTAGE VARIATION

• Main Authors: RANGINENI YASWANTH, NGUYEN TUAN, BINGHAM AARON, KAPOOR SUNIL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.08.2024
• Subjects: ALARM SYSTEMS; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; ORDER TELEGRAPHS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SIGNALLING; SIGNALLING OR CALLING SYSTEMS; TESTING

플라즈마 프로세싱 시스템의 프로세싱 조건들을 검출하기 위한 방법들 및 시스템들이 제공된다. 일 방법은 RF (radio frequency) 전력 공급부로부터의 RF 전력을 플라즈마 프로세싱 시스템의 샤워헤드에 제공하는 단계 및 플라즈마 프로세싱 시스템 내에 배치된 기판 상에서 프로세스 동작을 실행하는 단계를 포함한다. 방법은 RF 전력 공급부와 샤워헤드 사이에 인라인으로 연결된 전압 프로브를 사용하여 샤워헤드의 전압을 센싱하는 단계를 더 포함한다. 전압의 센싱은 프로세스 동작의 실행 동안 전압 값들을 생성한다. 방법은 실행될 프로세스 동작을 위해 미리 규정된 전압 체크 밴드와 전압 값들을 비교하는 단계를 포함한다. 비교 단계는 전압 값들이 전압 체크 밴드의 외부에 있을 때를 검출하도록 구성된다. 방법은 또한 전압 값들이 전압 체크 밴드의 외부에 있을 때를 비교 단계가 검출할 때 경보를 생성하는 단계를 포함한다. 경보는 프로세스 동작을 위해 미리 규정되었던 전압 체크 밴드에 기초하여 결함의 타입을 식별하도록 더 구성된다. A plasma processing system having a plurality of stations is provided. Each station has a substrate support and a showerhead for supplying process gases. A radio frequency (RF) power supply and a distribution system is provided, where the distribution system is coupled to the RF power supply. A plurality of voltage probes is provided. Each of the plurality of voltage probes is connected in-line between the distribution system and each showerhead of each of the stations. A controller is configured to receive sensed voltage values from each of the plurality of voltage probes and compare the sensed voltage values against a plurality of voltage check bands. Each voltage check band is predefined for a process operation, and the controller is configured to generate an alert when the comparing detects that a sensed voltage value is outside of a voltage check band. The alert is configured to identify a type of fault based on the voltage check band and identify a specific one of the plurality of stations having said type of fault.