Camera Alignment Apparatus Using Laser Beam and Inspection System Including the Same

• Main Authors: PARK JONG BOK, KIM KI SOO, HAN SEUNG HEON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.08.2024
• Subjects: ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION

레이저 빔을 이용한 카메라 정렬 장치 및 그를 포함하는 검사 시스템을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, 촬영 대상을 촬영하여 모니터링하며 검사하는 검사 시스템에 있어서, 외부로부터 입사되는 레이저 빔 또는 촬영 대상을 촬영하여 모니터링하는 카메라 및 카메라 정렬 장치를 포함하며, 상기 카메라 정렬장치는 레이저 빔을 조사하는 광원과 반사미러 또는 촬영 대상을 거치시키는 거치부와 상기 거치부에 거치되어 자신으로 입사되는 빔을 상기 카메라를 향해 반사시키는 반사미러와 반사면이 상기 반사미러를 향하도록 배치되어, 상기 광원에서 조사된 레이저 빔 일부를 상기 반사미러로 반사시키는 빔 스플리터와 상기 카메라의 위치나 방향을 조정하는 스테이지 및 상기 광원의 동작을 제어하며, 상기 카메라와 상기 반사미러 간 중심 및 방향을 정렬하도록 상기 스테이지를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 시스템을 제공한다. Disclosed are a camera alignment device using a laser beam, and an inspection system comprising same. According to one aspect of the present embodiment, provided are a camera alignment device which conveniently and precisely aligns a subject to be captured with a camera by using a laser beam, and an inspection system comprising same.