DEVICE OF GRIPPING MASK USED IN MANUFACTURING DISPLAY FOR CLEANING PROCESS

• Main Author: JUNG DONG JIN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 29.07.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TRANSPORTING

본 발명은 마스크의 세정을 위한 이송 지지 장치에 관한 것으로, 수평재와, 상기 수평재의 일측에 매달린 형태로 하방 연장되고 제1폐단면을 갖는 제1지지부와, 상기 수평재의 타측에 매달린 형태로 하방 연장되고 제2폐단면을 갖는 제2지지부를 포함하고, 마스크의 일단부와 타단부가 각각 상기 제1폐단면과 상기 제2폐단면을 관통한 상태로 상기 제1지지부와 상기 제2지지부에 의해 지지되도록 구성되어, 마스크(G)를 효율적이고 안정적으로 지지하여 공정 효율과 안정성을 향상시킨 마스크 이송 지지 장치 및 이를 이용한 세정 장치를 제공한다.