QUARTZ GLASS CRUCIBLE
[과제] 내면 거칢을 방지하여 단결정 수율을 높이는 것이 가능한 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니를 제공한다. [해결 수단] 석영 유리 도가니(1)는 원통형의 측벽부(1a)와, 바닥부(1b)와, 측벽부(1a)와 바닥부(1b) 사이에 마련되며 바닥부(1b)보다 큰 곡률을 갖는 코너부(1c)를 갖는다. 적어도 코너부(1c)는 그 전체 둘레에 걸쳐 투과광 에너지 분포를 측정하고, 투과광 에너지 분포로부터 산란 투과광 에너지(Ib)에 대한 중심 투과광 에너지(Ia)의 비율인 중심/산란 투과광 비율(E)=Ia/Ib를 산출하였을 때 중심...
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Format | Patent |
Language | English Korean |
Published |
26.07.2024
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