QUARTZ GLASS CRUCIBLE

• Main Authors: KISHI HIROSHI, SHIMIZU YASUNOBU, TAKANASHI KEIICHI, KITAHARA ERIKO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 26.07.2024
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUSPOLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR; CHEMISTRY; CRYSTAL GROWTH; GLASS; MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES; METALLURGY; MINERAL OR SLAG WOOL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITHDEFINED STRUCTURE; SINGLE-CRYSTAL-GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL ORUNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL

[과제] 내면 거칢을 방지하여 단결정 수율을 높이는 것이 가능한 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니를 제공한다. [해결 수단] 석영 유리 도가니(1)는 원통형의 측벽부(1a)와, 바닥부(1b)와, 측벽부(1a)와 바닥부(1b) 사이에 마련되며 바닥부(1b)보다 큰 곡률을 갖는 코너부(1c)를 갖는다. 적어도 코너부(1c)는 그 전체 둘레에 걸쳐 투과광 에너지 분포를 측정하고, 투과광 에너지 분포로부터 산란 투과광 에너지(Ib)에 대한 중심 투과광 에너지(Ia)의 비율인 중심/산란 투과광 비율(E)=Ia/Ib를 산출하였을 때 중심/산란 투과광 비율(E)이 0.1∼1.8이고, 코너부(1c)의 중심 투과광 및 산란 투과광의 합계 투과율은 10∼60%이다.