수정된 피라니 진공 게이지 아키텍처를 사용하여 라디칼 이온 플럭스를 측정하기 위한 방법

• Main Authors: HOWELLS SAMUEL, HILKENE MARTIN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.07.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

본원에 개시된 실시예들은 라디칼 이온 플럭스를 검출하기 위한 센서를 포함한다. 실시예에서, 센서는 제1 저항기를 포함하고, 제1 저항기는 제1 촉매 조성물의 소정 길이의 와이어를 포함한다. 실시예에서, 제2 저항기는 제1 저항기에 전기적으로 결합되고, 제2 저항기는 제1 촉매 조성물의 소정 길이의 와이어를 포함한다. 실시예에서, 제2 저항기는 비-촉매 물질로 코팅된다. 실시예에서, 센서는 제2 저항기에 전기적으로 결합되는 제3 저항기, 및 제1 저항기 및 제3 저항기에 전기적으로 결합되는 제4 저항기를 더 포함한다. Embodiments disclosed herein include, a sensor for detecting radical ion flux. In an embodiment, the sensor comprises a first resistor, where the first resistor comprises a length of wire of a first catalytic composition. In an embodiment, a second resistor is electrically coupled to the first resistor, where the second resistor comprises a length of wire of the first catalytic composition. In an embodiment, the second resistor is coated with a non-catalytic material. In an embodiment, the sensor further comprises a third resistor electrically coupled to the second resistor, and a fourth resistor electrically coupled to the first resistor and the third resistor