Apparatus and method for manufacturing a display device

• Main Authors: BAEK JANG KI, LEE JIN YONG, KIM BYUNG GEUK, NAM JI WOO, YIM WOO BEEN, YEO PIL SANG, JUNG KI HOON, JUNG HEUNG WOO, YOO DONG GON
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 15.07.2024
• Subjects: ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

본 발명의 일 실시예는, 타겟에 대하여 제1공정을 수행하는 제1공정부; 상기 제1공정이 수행된 타겟에 대하여 제2공정을 수행하며, 상기 제1공정부로부터 제1방향을 따라 이격되도록 배치되는 제2공정부; 상기 제1공정부 및 제2공정부 사이에 배치되는 라인스캔 검사장치;를 포함하고, 상기 라인스캔 검사장치는, 상기 타겟을 지지하는 스테이지, 및 상기 스테이지를 제1방향으로 이동시키는 이동부를 포함하는 이송부; 상기 타겟을 향하여, 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 갖는 라인 빔을 조사하는 라인스캔 조명부; 및 상기 타겟의 이미지를 촬영하는 라인스캔 카메라;를 포함하고, 평면 상에서, 상기 라인스캔 카메라는 상기 라인스캔 조명부로부터 상기 제2방향을 따라 이격되도록 배치되는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.