Manufacturing method of microfluidic chip using two photon polymerization and nanoimprint

• Main Author: CHOI JUN KYU
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 08.07.2024
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; TRANSPORTING

본 발명의 일측면에 따르면, 외부동력을 사용하지 않고 모세관력에 의한 혈구분석이 가능한 미세유체칩 제조방법에 있어서, a) 제1 기판의 상면에 패턴을 형성하는 제1단계; b) 상기 패턴이 형성된 제1 기판의 상면에 열경화성 수지를 주입한 다음, 상기 열경화성 수지를 경화시킨 후, 경화된 열경화성 수지를 제1 기판에서 탈거하여 최초 몰드를 제작하는 제2단계; c) 상기 최초 몰드에 광경화성 수지를 주입한 다음, 상기 광경화성 수지를 경화시킨 후, 경화된 광경화성 수지를 최초 몰드에서 탈거하여 핀 몰드를 제작하는 제3단계; d) 제2 기판의 상면에 광경화성 수지를 이격하여 도포한 다음, 상기 제2 기판에 도포된 광경화성 수지를 상기 핀 몰드로 스텝-엔-리피트(Step-and-Repeat) 임프린트(Imprint)하여 제2 기판의 상면에 다수의 동일 패턴을 전사하는 제4단계; e) 상기 다수의 동일 패턴이 이격하여 전사된 상기 제2 기판의 상면에 열경화성 수지를 주입한 다음, 상기 열경화성 수지를 경화시킨 후, 경화된 열경화성 수지를 제2 기판에서 탈거하여 다수의 동일 패턴이 형성된 배열 몰드를 제작하는 제5단계; 및 f) 제3 기판의 상면에 광경화성 수지를 이격하여 도포한 다음, 상기 제3 기판에 도포된 광경화성 수지를 상기 배열 몰드로 동시에 임프린트(Imprint)하여 동일 패턴을 가진 다수의 미세유체칩을 제조하는 제6단계;를 포함하는 이광자 중합법과 나노임프린트법을 이용한 미세유체칩 제조방법이 제공될 수 있다.