Laser interferometer measuring device with phase sensitivity control characteristics using internal optical path difference

본 발명은 측정부를 공진기 내부에 위치시키고 독립된 광간섭계의 광경로 길이를 조절하여 위상 민감도를 측정에 필요한 레벨로 변화시킬 수 있도록 한 내부 광경로 차이를 이용한 위상 민감도 제어 특성을 갖는 레이저 간섭계 측정 장치에 관한 것으로, 공진기 내부의 측정반사부와 부분 반사부 사이의 광경로 길이에 따라 광공진부에서 방출되는 발진 파장이 결정되고, 측정반사부에서 측정 물체의 길이가 변하게 되면 광공진부의 광경로 길이가 변하여 발진 파장이 변하게 되고, 방출된 광이 입력된 위상변환 간섭계부 내부에서 광경로 차이에 의해 발생된 광간...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors JANG HANSOL, KIM CHANGSEOK, PARK SANGMIN
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 28.06.2024
Subjects
COLORIMETRY
MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT
MEASURING
MEASURING ANGLES
MEASURING AREAS
MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS
PHYSICS
RADIATION PYROMETRY
TESTING
Online AccessGet full text

Cover

More Information
Summary:본 발명은 측정부를 공진기 내부에 위치시키고 독립된 광간섭계의 광경로 길이를 조절하여 위상 민감도를 측정에 필요한 레벨로 변화시킬 수 있도록 한 내부 광경로 차이를 이용한 위상 민감도 제어 특성을 갖는 레이저 간섭계 측정 장치에 관한 것으로, 공진기 내부의 측정반사부와 부분 반사부 사이의 광경로 길이에 따라 광공진부에서 방출되는 발진 파장이 결정되고, 측정반사부에서 측정 물체의 길이가 변하게 되면 광공진부의 광경로 길이가 변하여 발진 파장이 변하게 되고, 방출된 광이 입력된 위상변환 간섭계부 내부에서 광경로 차이에 의해 발생된 광간섭 신호를 획득하고, 이 광간섭 신호의 위상 변화로 측정부까지의 거리 및 길이 변화를 측정하는 레이저 간섭계 센서에서, 측정부를 광공진부 내부에 위치시킴으로 위상변환 광간섭계의 위상 민감도를 간섭계 내부 광경로 차이로 조절할 수 있도록 한 것이다.
Bibliography:Application Number: KR20220181077