SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS TOOL MOUNTING METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD

[과제] 제품에 대응하지 않는 치공구의 장착을 방지하는 것이 가능한 기술을 제공하는 데 있다. [해결 수단] 반도체 제조 장치는, 태그를 갖는 치공구와, 상기 치공구가 교환 가능하게 설치되는 다이 취급 유닛과, 상기 태그로부터 데이터를 읽어내거나, 상기 태그에 데이터를 기입하거나 하는 리더 라이터와, 상기 태그로부터 읽어낸 데이터와 미리 보유되어 있는 데이터를 비교하여, 비교 결과가 일치하지 않는 경우, 생산을 개시하지 않도록 구성되는 제어 장치를 구비한다....

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Bibliographic Details
Main Authors NAKUI YUKI, SAITO AKIRA, MOCHIZUKI MASAYUKI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 24.06.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:[과제] 제품에 대응하지 않는 치공구의 장착을 방지하는 것이 가능한 기술을 제공하는 데 있다. [해결 수단] 반도체 제조 장치는, 태그를 갖는 치공구와, 상기 치공구가 교환 가능하게 설치되는 다이 취급 유닛과, 상기 태그로부터 데이터를 읽어내거나, 상기 태그에 데이터를 기입하거나 하는 리더 라이터와, 상기 태그로부터 읽어낸 데이터와 미리 보유되어 있는 데이터를 비교하여, 비교 결과가 일치하지 않는 경우, 생산을 개시하지 않도록 구성되는 제어 장치를 구비한다.
Bibliography:Application Number: KR20230178528