연마 슬러리 분배 노즐

• Main Authors: IYER ANAND NILAKANTAN, MIKHAYLICHENKO EKATERINA A, CHOU CHIH CHUNG, LEE CHRISTOPHER HEUNGGYUN, CHANG SHOU SUNG
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

예시적인 슬러리 전달 시스템들은 슬러리 공급원을 포함할 수 있다. 시스템들은 슬러리 공급원과 결합된 슬러리 라인을 포함할 수 있다. 시스템들은 슬러리 분배 노즐을 포함할 수 있다. 노즐은 슬러리 라인의 슬러리 배출구와 유체 결합되는 유입구를 갖는 루멘을 포함할 수 있다. 노즐은 저장소 및 출구 포트를 한정하는 몸체를 포함할 수 있다. 저장소는 루멘의 하류 단부와 유체 결합될 수 있다. 출구 포트는 저장소와 결합될 수 있다. 노즐은 밸브 시트를 포함할 수 있다. 노즐은 폐쇄 위치에 있을 때 밸브 시트에 대하여 위치되는 제1 표면을 갖는 밸브 부재를 포함할 수 있다. 밸브 부재는, 제1 표면이 밸브 시트로부터 이격되는 개방 위치로 이동가능할 수 있다. 노즐은 밸브 부재의 제2 표면과 결합된 액추에이터를 포함할 수 있다. Exemplary slurry delivery systems may include a slurry source. The systems may include a slurry line coupled with the slurry source. The systems may include a slurry dispensing nozzle. The nozzle may include a lumen having an inlet that is fluidly coupled with a slurry outlet of the slurry line. The nozzle may include a body defining a reservoir and an exit port. The reservoir may be fluidly coupled with a downstream end of the lumen. The exit port may be coupled with the reservoir. The nozzle may include a valve seat. The nozzle may include a valve member having a first surface positioned against the valve seat when in a closed position. The valve member may be movable to an open position in which the first surface is spaced apart from the valve seat. The nozzle may include an actuator coupled with a second surface of the valve member.