컨테이너 내로의 퍼지를 조절하는 방법 및 디바이스

• Main Authors: SMITH MARK V, HARR COLTON J, ZABKA MICHAEL C, WILKIE THOMAS H, FULLER MATTHEW A, EGGUM SHAWN D
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

기판 컨테이너는 퍼지 유동 분배 시스템을 포함한다. 퍼지 유동 분배 시스템은 퍼지 가스의 하나 이상의 입력 유동을 가스 분배 디바이스 네트워크의 복수의 가스 분배 표면으로 분할할 수 있다. 퍼지를 제어하는 방법은 결정된 퍼지 가스 유량을 각각의 가스 분배 표면에 제공하도록 기판 컨테이너를 구성하는 단계를 포함할 수 있다. 구성은 퍼지 유동 분배 시스템의 유동 제어 장치를 사용하여 수행될 수 있다. 퍼지 가스 유량은 퍼지 성능 파라미터에 기초하여 결정될 수 있다. 제어기는 퍼지 유동 분배 시스템의 작동을 지시할 수 있다. 제어기와 기판 컨테이너는 기판 컨테이너 퍼징 시스템에 조합될 수 있다. Substrate containers include purge flow distribution systems. The purge flow distribution systems can divide one or more input flows of purge gas to a plurality of gas distribution surfaces of a network of gas distribution devices. Methods of controlling purge can include configuring the substrate containers to provide determined purge gas flow rates at each of the gas distribution surfaces. The configuration can be performed using flow controls of the purge flow distribution systems. The purge gas flow rates can be determined based on purge performance parameters. A controller can direct the operation of the purge flow distribution systems. The controller and the substrate container can be combined in a substrate container purging system.