전자 클리닝 장치

• Main Authors: TAKEUCHI KOICHIRO, KUBONAKA YUTO, OHNO MASAOMI, HOSOYA KOTARO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 21.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

전자를 이용한 클리너의 전자 조사에 의해, 컨태미네이션의 전구체인 탄화수소계 가스가 해리되고, 시료실 내의 부재나 시료 표면에 탄소가 적층되어, 시료실 내 부품이 오염된다. 그래서, 하전 입자원(113)을 갖는 경통(112)에 접속된 시료실(101)과, 시료실(101)에 배치되는 전자원(102)과, 전자원(102)의 전면에 설치된 차폐판(105)을 구비하며, 전자원으로부터 방출되는 일차전자가 차폐판에 충돌함으로써 방출되는 이차전자에 의해, 시료실 내의 클리닝을 행하는 구성의 장치를 제공한다. Electron irradiation from a cleaner that uses electrons dissociates hydrocarbon-based gas, which is a precursor to contamination, causing deposition of carbon on members inside a specimen chamber and on a specimen surface, thereby contaminating components inside the specimen chamber. As such, provided is a device comprising: a specimen chamber 101 that is connected to a lens tube 112 which has a charged particle source 113; an electron source 102 that is disposed in the specimen chamber 101; and a shielding plate 105 that is provided to the front of the electron source 102, wherein the inside of the specimen chamber is cleaned by secondary electrons, which are emitted due to primary electrons emitted from the electron source colliding with the shielding plate.