SBD SCHOTTKY BARRIER DIODE SBD LEAKAGE CURRENT BLOCKING STRUCTURE

실시예들은 쇼트키 배리어 다이오드(Schottky barrier diode, SBD) 구조물 및 이를 형성하는 방법을 포함하며, SBD 구조물은 SBD 구조물의 애노드 영역을 둘러싸는 얕은 트렌치 격리 영역과의 계면에서 전류가 누설되지 못하게 하는 전류 차단 피처를 포함한다. Embodiments include a Schottky barrier diode (SBD) structure and method of forming the same, the SBD structure including a current blockage featu...

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Main Authors WU CHENG HSIEN, TSENG CHIEN LIN, LIN SHENG YU, TU YU FA, HUNG WEI CHUN, TAN YUNG FANG, CHANG TING CHANG
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 07.06.2024
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Summary:실시예들은 쇼트키 배리어 다이오드(Schottky barrier diode, SBD) 구조물 및 이를 형성하는 방법을 포함하며, SBD 구조물은 SBD 구조물의 애노드 영역을 둘러싸는 얕은 트렌치 격리 영역과의 계면에서 전류가 누설되지 못하게 하는 전류 차단 피처를 포함한다. Embodiments include a Schottky barrier diode (SBD) structure and method of forming the same, the SBD structure including a current blockage feature to inhibit current from leaking at an interface with a shallow trench isolation regions surrounding an anode region of the SBD structure.
Bibliography:Application Number: KR20230167838