SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: CHO HYUN CHEOL, LEE JONG MIN, SHIN JOONG CHOL, KIM KWANG SUP
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 05.06.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HAND TOOLS; MANIPULATORS; PERFORMING OPERATIONS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

기판을 처리하도록 구성되고, 상기 기판의 삽입구를 포함하는 공정 처리 모듈, 상기 기판을 지지하고, 상기 기판을 로딩 및 언로딩 하도록 구성된 로봇 핸드, 상기 로봇 핸드를 지지하고, 상기 기판을 이송하기 위해 구동하도록 구성된 로봇 암, 상기 로봇 암을 지지하는 지지부, 및 상기 로봇 암, 상기 로봇 핸드, 및 상기 지지부를 제어하고 데이터를 처리하기 위한 처리제어부를 포함하고, 상기 로봇 핸드의 하면에 위치하여, 상기 로봇 핸드가 위치한 방향을 향하는 센서 모듈을 구비하고, 상기 센서 모듈에서 획득한 데이터는 상기 처리제어부에서 처리하는 기판 처리 장치를 통하여, 기판 처리 장치에서 기판의 이송이 원활하게 이뤄지고 동시에 기판 이송의 오토 티칭이 가능한 기판 처리 장치를 제공한다.