3D 3D NANOPROBE DEVICE AND ELECTRONIC DEVICES COMPRISING THE SAME
3D 구조의 나노프로브 소자 및 이를 포함하는 전자장치를 개시한다. 3D 구조의 나노프로브 소자는 복수개의 박막이 적층된 몸체부; 몸체부에서 길이 방향으로 연장되고 복수개의 나노프로브 형상을 갖는 복수개의 층이 적층된 연장부; 및 상기 몸체부의 적어도 일부분에 형성된 전극부;를 포함할 수 있다. A three-dimensional (3D) nanoprobe device includes a body portion including a plurality of body layers that are stacked, a plurality o...
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Format | Patent |
Language | English Korean |
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03.06.2024
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Summary: | 3D 구조의 나노프로브 소자 및 이를 포함하는 전자장치를 개시한다. 3D 구조의 나노프로브 소자는 복수개의 박막이 적층된 몸체부; 몸체부에서 길이 방향으로 연장되고 복수개의 나노프로브 형상을 갖는 복수개의 층이 적층된 연장부; 및 상기 몸체부의 적어도 일부분에 형성된 전극부;를 포함할 수 있다.
A three-dimensional (3D) nanoprobe device includes a body portion including a plurality of body layers that are stacked, a plurality of nanoprobes respectively extending longitudinally from the body portion, with each of the plurality of nanoprobes comprising a plurality of extension layers that are stacked, and an electrode portion disposed on a portion of the body portion. |
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Bibliography: | Application Number: KR20220159621 |