광도파로 제조 방법

광도파로 제조 방법이 개시되는데, 이 방법은, 복수의 개별적 도파로 구조가 각인된 매스터 템플릿을 수신하는 단계, 상기 매스터 템플릿을 경화성 매스터 템플릿 스탬프재로 코팅하는 단계, 매스터 템플릿 스탬프를 형성하기 위해 상기 매스터 템플릿 스탬프재를 경화시키는 단계, 상기 매스터 템플릿 스탬프를 상기 매스터 템플릿으로부터 분리시키는 단계, 하나 이상의 매스터 템플릿 복제들을 형성하기 위해 상기 매스터 템플릿 스탬프를 각인가능한 코팅을 가지는 하나 이상의 제1 기판들 상에 각인시키는 단계 - 각각의 매스터 템플릿 복제 상에는 복수의...

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Bibliographic Details
Main Authors ALEXEEV ARSENY, GREENHALGH PHILIP ANDREW, HAYES DAVID, NAGREDDY VENKATA KARTHIK, OJHA NIRDESH
Format Patent
LanguageKorean
Published 21.05.2024
Subjects
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
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Summary:광도파로 제조 방법이 개시되는데, 이 방법은, 복수의 개별적 도파로 구조가 각인된 매스터 템플릿을 수신하는 단계, 상기 매스터 템플릿을 경화성 매스터 템플릿 스탬프재로 코팅하는 단계, 매스터 템플릿 스탬프를 형성하기 위해 상기 매스터 템플릿 스탬프재를 경화시키는 단계, 상기 매스터 템플릿 스탬프를 상기 매스터 템플릿으로부터 분리시키는 단계, 하나 이상의 매스터 템플릿 복제들을 형성하기 위해 상기 매스터 템플릿 스탬프를 각인가능한 코팅을 가지는 하나 이상의 제1 기판들 상에 각인시키는 단계 - 각각의 매스터 템플릿 복제 상에는 복수의 개별적 도파로 구조 복제가 각인되어 있음 -, 상기 하나 이상의 매스터 템플릿 복제들을 경화시키는 단계, 상기 매스터 템플릿 스탬프를 상기 하나 이상의 매스터 템플릿 복제들로부터 분리시키는 단계, 상기 하나 이상의 매스터 템플릿 복제들 중의 하나를 경화성 가공 스탬프재로 코팅하는 단계, 광도파로들을 제조하기 위한 가공 스탬프를 형성하기 위해 상기 가공 스탬프재를 경화시키는 단계, 및 상기 매스터 템플릿 복제를 상기 가공 스탬프로부터 분리시키는 단계를 포함한다. An optical waveguide manufacturing method is disclosed comprising: receiving a master template having a plurality of individual waveguide structures imprinted thereon; coating the master template with a curable master template stamp material; curing the master template stamp material to form a master template stamp; separating the master template stamp from the master template; imprinting the master template stamp onto one or more first substrates having an imprintable coating to form one or more master template copies, each master template copy having a plurality of individual waveguide structure copies imprinted thereon; curing the one or more master template copies; separating the master template stamp from the one or more master template copies; coating one of the one or more master template copies with a curable working stamp material; curing the working stamp material to form a working stamp for manufacturing optical waveguides; and separating the master template copy from the working stamp.
Bibliography:Application Number: KR20247014879