자극 반응성 폴리머들 (STIMULUS RESPONSIVE POLYMERS) 을 사용하는 희생적 브레이싱, 표면 보호 및 큐-시간 관리를 위한 방법들 및 제제들

• Main Authors: HYMES DIANE, SIRARD STEPHEN M, BLACHUT GREGORY
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.05.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONSONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR DEVICES; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP

고 종횡비 (high aspect ratio; HAR) 구조체들을 브레이싱하는 (bracing) 방법들은 자극 반응성 폴리머들 (stimulus responsive polymers; SRP들) 막들로 HAR 구조체들을 코팅하고 이어서 SRP 막의 유리 전이 온도 (Tg) 이상 및 SRP의 열화 온도 이하의 온도에서 SRP 막들을 소성하는 (bake) 단계를 포함한다. 일부 실시 예들에서, SRP 막은 가소제 (plasticizer) 를 포함한다. Methods of bracing high aspect ratio (HAR) structures include coating the HAR structures with stimulus responsive polymers (SRP) films followed by baking the SRP films at a temperature above the glass transition temperature (Tg) of the SRP film and below the degradation temperature of the SRP. In some embodiments, the SRP film includes a plasticizer.