DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING DISPLAY PANEL

• Main Authors: PARK JONGHEE, LEE PILSUK, CHOI CHUNG SOCK, HONG SUNGJIN, PARK JUCHAN, KO YOOMIN, KIM HYEWON, KIM SUNHO
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 07.05.2024
• Subjects: ELECTRICITY

본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 제조 방법은 베이스층 상에 트랜지스터 및 제1 절연층을 포함하는 구동 소자층을 형성하는 단계, 트랜지스터를 부분적으로 노출시키는 컨택홀을 형성하는 단계, 제1 절연층 상에 컨택홀을 통해 상기 트랜지스터와 전기적으로 연결된 연결 배선을 제공하는 단계를 포함한다. 연결 배선을 1차 식각하여 제1 팁부를 형성하는 단계, 제1 오픈 영역에 의해 노출된 제1 팁부를 제2 예비 팁부로써 제공하는 단계, 제2 예비 팁부를 2차 식각하여 제2 팁부를 형성하는 단계를 포함한다. 소자 접속부에 두 번의 식각 공정을 포함함으로써 소자 접속부에서 팁 주변에 산화막이 형성되는 현상을 방지 또는 감소시킬 수 있다. 따라서, 소자 접속부와 제2 전극이 정상적으로 접속되지 못하는 현상을 방지하고, 그 결과 공정 신뢰성이 개선된 표시 패널을 제공할 수 있다. Provided is a method for manufacturing a display panel (DD), the method includes forming a driving element layer (DDL) including a transistor (TR) and a first insulation layer (10) on a base layer (BS); forming a contact-hole (CNT2) partially exposing the transistor (TR); and providing a connection wiring (CN) electrically connected to the transistor (TR) through the contact-hole (CNT2) on the first insulation layer. The method includes forming a first tip portion (TP1) by performing a primary etching (EC1) on the connection wiring (CN); providing the first tip portion exposed by the first open region (OP1) as a second preliminary tip portion (PTP2); and forming a second tip portion (TP2) by performing a secondary etching (EC2) on the second preliminary tip portion (PTP2).