영구 자석 어레이를 위한 표유장의 완화를 위한 쉴딩 전략

• Main Authors: PLETTNER TOMAS, LO WAYNE CHIWOEI, MAURINO JOSEPH, ZHANG QIAN
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 22.04.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INDUCTANCES; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MAGNETS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; MEASURING; PHYSICS; PRINTED CIRCUITS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING; TRANSFORMERS

본 개시는 검사 시스템 및 표유장 완화 방법을 제공한다. 시스템은 전자 빔 컬럼들의 어레이, 제1 영구 자석 어레이, 및 복수의 쉴딩 플레이트들을 포함한다. 전자 빔 컬럼들의 어레이 각각은 스테이지를 향해 전자를 방출하도록 구성된 전자 소스를 포함한다. 제1 영구 자석 어레이는 각각의 전자 소스로부터 전자 빔들의 어레이로 전자를 응축시키도록 구성된다. 제1 영구 자석 어레이는 전자 빔 컬럼들의 어레이의 제1 단부에 배열된다. 복수의 쉴딩 플레이트들은 전자 방출 방향으로 제1 영구 자석 어레이의 하류에 있는 전자 빔 컬럼들의 어레이를 가로질러 연장된다. 전자 빔들의 어레이는 복수의 쉴딩 플레이트들 각각에서 복수의 애퍼처들을 통과하며, 이는 전자 빔들의 어레이의 반경 방향으로 표유 자기장을 감소시킨다. The present disclosure provides an inspection system and a method of stray field mitigation. The system includes an array of electron beam columns, a first permanent magnet array, and a plurality of shielding plates. The array of electron beam columns each includes an electron source configured to emit electrons toward a stage. The first permanent magnet array is configured to condense the electrons from each electron source into an array of electron beams. The first permanent magnet array is arranged at a first end of the array of electron beam columns. The plurality of shielding plates extend across the array electron beam columns downstream of the first permanent magnet array in a direction of electron emission. The array of electron beams pass through a plurality of apertures in each of the plurality of shielding plates, which reduces stray magnetic field in a radial direction of the array of electron beams.