정전 척을 처리하기 위한 방법 및 장치

예로서, 정전 척의 2개의 층 사이에 접합부를 형성하는 접착제를 경화하는 단계 동안 정전 척을 처리하는 것을 포함하여 제어된 프로세스 조건에서 정전 척을 처리하기 위한 기술 및 장비(장치)가 설명되어 있다. Described are techniques and equipment (apparatus) for processing an electrostatic chuck at controlled process conditions, including, as an example, for processing an electrostatic chu...

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Main Authors DONNELL STEVEN, LIU YAN, PYDI CHIRANJEEVI, MERCHEL SARA, MINSKY CALEB, MUNOZ CEREL, RICHARD NATHAN
Format Patent
LanguageKorean
Published 16.04.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
LAYERED PRODUCTS
LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT ORNON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
PERFORMING OPERATIONS
SEMICONDUCTOR DEVICES
TRANSPORTING
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Summary:예로서, 정전 척의 2개의 층 사이에 접합부를 형성하는 접착제를 경화하는 단계 동안 정전 척을 처리하는 것을 포함하여 제어된 프로세스 조건에서 정전 척을 처리하기 위한 기술 및 장비(장치)가 설명되어 있다. Described are techniques and equipment (apparatus) for processing an electrostatic chuck at controlled process conditions, including, as an example, for processing an electrostatic chuck during a step of curing an adhesive that forms a bond between two layers of the electrostatic chuck.
Bibliography:Application Number: KR20247010479