기화기 조립체

• Main Authors: CARDOZO BENJAMIN, BATTLE SCOTT L
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 15.04.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

조립체는 기화기 용기를 구비한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적을 규정한다. 일부 실시예에서, 기화기 용기는 내부 체적 내에 적어도 하나의 소스 시약을 보유하도록 구성된다. 일부 실시예에서, 조립체는 히터를 구비한다. 일부 실시예에서, 히터는 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성된다. 일부 실시예에서, 히터는 기화기 용기를 가열하지 않으면서 적어도 하나의 소스 시약을 기화시키도록 구성된 복사 열원이다. An assembly includes a vaporizer vessel. In some embodiments, the vaporizer vessel defines an interior volume. In some embodiments, the vaporizer vessel is configured to hold at least one source reagent within the interior volume. In some embodiments, the assembly includes a heater. In some embodiments, the heater is configured to vaporize the at least one source reagent. In some embodiments, the heater is a radiant heat source configured to vaporize the at least one source reagent without heating the vaporizer vessel.