DETERIORATION PREDICTION SYSTEM AND DETERIORATION PREDICTION METHOD OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS OR SEMICONDUCTOR INSPECTION APPARATUS

• Main Authors: DOI TAKASHI, KANNO WATARU, SASAJIMA FUMIHIRO, TAMAKI KENJI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.04.2024
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

장치의 감시 항목에 포함되는 트렌드 성분의 경향이 변화하는 경우에도 장치의 열화를 추정할 수 있도록 한다. 반도체 제조 장치 또는 반도체 검사 장치의 열화 예측 시스템은, 장치의 상태를 나타내는 시계열 데이터를 입력으로서 접수하는 입력 장치와, 상기 시계열 데이터의 변동을, 상기 장치의 설정을 변경한 것에 기인하는 변동과 상기 장치의 열화에 기인하는 변동으로 변별하고, 상기 설정이 변경된 시점을 추정하는 추정부와, 상기 시점을 경계로 하는 복수의 기간으로 상기 시계열 데이터를 분할하는 분할부와, 상기 기간에 있어서의 상기 시계열 데이터의 변동으로부터 적어도 트렌드 성분을 변별하는 변별부와, 적어도 상기 트렌드 성분에 기초하여 상기 장치의 열화를 예측하는 예측부를 갖는 열화 예측 장치와, 상기 예측의 결과를 출력하는 출력 장치를 구비한다. A deterioration prediction system for a semiconductor manufacturing equipment or a semiconductor inspection equipment, including: an input device receiving, as an input, time series data indicating a state of the equipment; a deterioration prediction device having an estimation unit discriminating fluctuation in the time series data into fluctuation caused by changing setting of the equipment and fluctuation caused by deterioration of the equipment and estimating a time point when the setting is changed, a division unit dividing the time series data into the plurality of periods bounded by the time points, a discrimination unit discriminating at least a trend component from the fluctuation in the time series data in the period, and a prediction unit predicting the deterioration of the equipment based on at least the trend component; and an output device outputting a result of the prediction.