밸브 제어 장치, 밸브 제어 방법, 밸브 제어 프로그램, 및 유체 제어 장치

• Main Authors: TAKIJIRI KOTARO, TOKUNAGA KAZUYA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 05.04.2024
• Subjects: CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

본 발명은 유체 제어 장치의 밸브 제어에 있어서 노이즈의 영향을 저감시키면서 응답 성능을 향상시키는 것으로, 유체 제어 장치(100)의 밸브(3)를 제어하는 밸브 제어 방법으로서, 입력된 유량 설정값 Qset에 목표 응답 전달 함수 F를 곱하여 목표 응답 함수 Y(Qset)를 생성하고, 목표 응답 함수 Y(Qset)에 대해서, 밸브(3)의 구동 전압과 유량의 비선형성을 보정하여 목표 전압 함수 Y(Vset)를 생성하고, 목표 전압 함수 Y(Vset)로부터 밸브(3)의 지연 특성을 보정하여 피드포워드 전압 신호 VFF를 생성하고, 목표 응답 함수 Y(Qset)와 유량 센서(2)의 유량 측정값 Qmeas의 편차로부터 피드백 제어기(4d1)에 의해 피드백 전압 신호 VFB를 생성하고, 피드포워드 전압 신호 VFF와 피드백 전압 신호 VFB를 이용하여 보정 후 지령 전압 신호 VCMD를 생성하고, 해당 보정 후 지령 전압 신호 VCMD에 의해 밸브(3)를 제어한다. The present invention improves the response performance of valve control in a fluid control device, while reducing the influence of a nozzle. The present invention is a valve control method for controlling a valve 3 in a fluid control device 100, wherein an input flow-rate setting value Qset is multiplied by a target response transfer function F to generate a target response function Y(Qset), the target response function Y(Qset) is corrected for non-linearity between the driving voltage and the flow rate of a valve 2 to generate a target voltage function Y(Vset), the target voltage function Y(Vset) is corrected for the delay characteristics of the valve 3 to generate a feedforward voltage signal VFF, a feedback voltage signal VFB is generated by a feedback contrller 4d1 from the deviation between the target response function Y(Qset) and a measured flow-rate value Qmeas of a flow-rate sensor 2, a corrected instruction voltage signal VCMD is generatedby using the feedforward voltage signal VFF and the feedback voltage signal VFB, and the valve 3 is controlled according to the corrected instruction voltage signal VCMD.