MASK ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME

• Main Authors: BYUNG HEON KWAK, JUN GYU HUR, JONG KAB PARK, KIM KYUNGMIN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 01.04.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

마스크 어셈블리는 박막 공정에 사용되는 마스크 어셈블리에 있어서, 격자 형상의 프레임 영역과, 격자의 내부에 배치되고 각각에 복수의 개구부가 형성되는 복수의 개구 형성 영역을 포함하는 금속 시트; 및 상기 금속 시트 양단의 상기 프레임 영역에 대응하여 설치되는 마스크 프레임을 포함하며, 상기 프레임 영역의 두께는 상기 개구 형성 영역의 두께보다 크며, 상기 금속 시트의 두께 방향에서, 상기 금속 시트의 중립면(neutral plane)은 상기 개구 형성 영역 내부 또는 상기 금속 시트 두께의 50%인 위치와 상기 개구 형성 영역의 표면 사이에 위치할 수 있다.