SUBSTRATE MANUFACTURING APPARATUS

• Main Authors: KANG MIN GOO, RYU SUK HA, KO JUN HYEUK, KIM EUI GYU, SONG MIN CHUL, KIM MIN SEOK
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 28.03.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

기판 로딩 장치는 정전 척, 마스크 프레임 및 복수의 홀더들을 포함한다. 정전 척은 기판을 척킹(chucking) 또는 디척킹(dechucking)한다. 마스크 프레임은 정전 척의 아래에 배치되고, 상면이 평탄한 가장자리를 갖는다. 정전 척과 마스크 프레임 사이에 배치되는 복수의 홀더들은 제1 연결부들, 제2 연결부들 및 제3 연결부들을 포함한다. 제1 연결부들은 정전 척의 일측에 연결되고, 제2 연결부들은 제1 연결부들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 제1 연결부들 각각으로부터 연결되며, 제3 연결부들은 제2 연결부들의 연장 방향과 교차하는 방향으로 제2 연결부들 각각으로부터 연결된다. 제3 연결부들은 기판과 중첩하는 제1 위치 또는 기판과 이격되는 제2 위치로 회전 이동이 가능하다. A substrate loading device includes an electrostatic chuck that chucks a substrate, a mask frame disposed under the electrostatic chuck, and including an edge having a flat top surface, and a plurality of holders disposed between the electrostatic chuck and the mask frame. Each of the plurality of holders includes a first connection part connected to a side of the electrostatic chuck, a second connection part connected to the first connection part and extending in a direction intersecting an extension direction of the first connection part, and a third connection part connected to the second connection part, extending in a direction intersecting an extension direction of the second connection part, and rotationally moving between a first position overlapping the substrate in a thickness direction of the substrate and a second position spaced apart from the substrate.