SEM NON-DESTRUCTIVE SEM-BASED DEPTH-PROFILING OF SAMPLES

• Main Authors: SHEMESH DROR, HADAR URI, GIRMONSKY DORON, EILON MICHAL
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 26.03.2024
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

샘플들의 비파괴적 깊이 프로파일링을 위한 시스템이 본원에서 개시된다. 시스템은, (i) 피검사 샘플 상에 복수의 착지 에너지들 각각의 e 빔들을 투영하기 위한 전자 빔(e 빔) 소스; (ⅱ) 착지 에너지들 각각에 관련이 있는 전자 강도들의 측정된 세트를 획득하기 위한 전자 센서; 및 (ⅲ) 상기 전자 강도들의 측정된 세트에 기초하여 그리고 상기 피검사 샘플의 의도된 설계를 표시하는 기준 데이터를 고려하여, 상기 피검사 샘플의 내부 기하학적 구조 및/또는 조성을 특성화하는 구조적 파라미터들의 세트를 결정하기 위한 프로세싱 회로부를 포함한다. Disclosed herein is a system for non-destructive depth-profiling of samples. The system includes: (i) an electron beam (e-beam) source for projecting e-beams at each of a plurality of landing energies on an inspected sample; (ii) an electron sensor for obtaining a measured set of electron intensities pertaining to each of the landing energies; and (iii) processing circuitry for determining a set of structural parameters, which characterizes an internal geometry and/or a composition of the inspected sample, based on the measured set of electron intensities and taking into account reference data indicative of an intended design of the inspected sample.