데이터 처리 디바이스 및 방법, 하전 입자 평가 시스템 및 방법

• Main Authors: TRAJANOSKA MARIJA, KUIPER VINCENT SYLVESTER, WIELAND MARCO JAN JACO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 22.03.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

하전 입자 평가 시스템에 의해 생성된 샘플 이미지 데이터에서 결함들을 검출하기 위한 데이터 처리 디바이스가 개시되며, 상기 디바이스는: 하전 입자 평가 시스템으로부터 샘플 이미지 데이터스트림을 수신하고 -샘플 이미지 데이터스트림은 샘플의 이미지를 나타내는 정렬된 일련의 데이터 포인트들을 포함함- , 제 1 결함 검출 테스트를 적용하여 제 1 선택 데이터로서 샘플 이미지 데이터스트림의 서브세트를 선택하도록 구성되는 제 1 처리 모듈 -제 1 결함 검출 테스트는 샘플 이미지 데이터스트림의 수신과 병행하여 수행되는 국부적인 테스트임- ; 및 제 1 선택 데이터를 수신하고, 제 2 결함 검출 테스트를 적용하여 제 2 선택 데이터로서 제 1 선택 데이터의 서브세트를 선택하도록 구성되는 제 2 처리 모듈을 포함한다. A data processing device for detecting defects in sample image data generated by a charged particle assessment system, the device comprising: a first processing module configured to receive a sample image datastream from the charged particle assessment system, the sample image datastream comprising an ordered series of data points representing an image of the sample, and to apply a first defect detection test to select a subset of the sample image datastream as first selected data, wherein the first defect detection test is a localised test which is performed in parallel with receipt of the sample image datastream; and a second processing module configured to receive the first selected data and to apply a second defect detection test to select a subset of the first selected data as second selected data.