MEASURING METHOD MEASURING SYSTEM AND MEASURING DEVICE

• Main Authors: YOKOYAMA KIMIHIRO, KOBAYASHI RYOMA, HATANAKA TAKAYUKI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 12.03.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

(과제) 측정기의 어긋남의 양을 정밀하게 구하는 기술을 제공한다. (해결 수단) 측정 방법은, 영역 내로 반송된 측정기의 4개 이상의 센서 전극에 의해 측정치를 취득하는 공정을 포함한다. 측정 방법은, 4개 이상의 센서 전극 중, 신뢰성 기준을 만족하는 정전 용량치를 측정치로서 출력하고 있는 2개 이상의 센서 전극을 특정하는 공정을 포함한다. 측정 방법은, 특정된 2개 이상의 센서 전극의 측정치에 기초하여 어긋남의 양을 산출하는 공정을 포함한다. There is a method for measuring a deviation amount of a measuring device, comprising: transferring, by using a transfer device, the measuring device to a position in an area specified by transfer position data; acquiring measurement values using four or more sensor electrodes of the measuring device; identifying two or more sensor electrodes among the four or more sensor electrodes, the two or more sensor electrodes outputting, as the measurement values, capacitances that satisfy a reliability standard; and calculating the deviation amount based on the measurement values of the identified two or more sensor electrodes.