APPARATUS FOR REVERSING WAFER AND METHOD FOR DETECTING THE WAFER

예시적인 실시예들에 따르면 웨이퍼 반전 장치 및 그의 웨이퍼 감지 방법이 제공된다. 상기 웨이퍼 반전 장치는, 웨이퍼가 안착되는 버퍼; 상기 버퍼의 가장자리에 배치되고, 상기 버퍼에 안착된 상기 웨이퍼의 측면을 척킹하는 척킹 암; 상기 버퍼와 상기 척킹 암에 결합되고, 상기 척킹 암이 상기 버퍼에 안착된 웨이퍼를 척킹하도록 구동하는 구동 장치; 상기 구동 장치의 수평 이동 거리를 측정하는 거리 센서; 상기 수평 이동 거리에 기초하여 상기 웨이퍼의 안착 여부를 판단하는 제어부를 포함할 수 있다....

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Bibliographic Details
Main Authors CHO YONG JOO, BAEK DONG GEUN, LEE BONG KYU
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 08.03.2024
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
SEMICONDUCTOR DEVICES
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Summary:예시적인 실시예들에 따르면 웨이퍼 반전 장치 및 그의 웨이퍼 감지 방법이 제공된다. 상기 웨이퍼 반전 장치는, 웨이퍼가 안착되는 버퍼; 상기 버퍼의 가장자리에 배치되고, 상기 버퍼에 안착된 상기 웨이퍼의 측면을 척킹하는 척킹 암; 상기 버퍼와 상기 척킹 암에 결합되고, 상기 척킹 암이 상기 버퍼에 안착된 웨이퍼를 척킹하도록 구동하는 구동 장치; 상기 구동 장치의 수평 이동 거리를 측정하는 거리 센서; 상기 수평 이동 거리에 기초하여 상기 웨이퍼의 안착 여부를 판단하는 제어부를 포함할 수 있다.
Bibliography:Application Number: KR20220110957