X- ENERGY DISPERSIVE X-RAY SPECTROSCOPY SENSING UNIT

• Main Authors: BROZGOL EUGENE, BASSON YOSEF, CHAUVIN MARTIN, FELDMAN MARAT, ASULIN ITAY, NAKASH SHMUEL, LEVIN JACOB
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 27.02.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

에너지 분산 x-선 분광법(EDX) 감지 유닛에서, EDX 감지 유닛은 보호 유닛 및 하나 이상의 감지 영역을 포함하는 x-선 센서를 포함한다. 보호 유닛은 (i) 샘플로부터 방출된 전자들의 하나 이상의 특성의 변화를 도입하고, 그에 의해, 샘플로부터 방출된 전자들이 하나 이상의 감지 영역에 도달하는 것을 방지하고 - 전자들은 1차 전자 빔에 의한 샘플의 조명으로 인해 샘플로부터 방출됨 -, (ii) EDX 감지 유닛의 작동의 안전성을 증가시키도록 구성된다. x-선 센서는, (i) 하나 이상의 감지 영역에 의해, 샘플의 조명으로 인해 샘플로부터 방출된 x-선 광자들을 수신하고, (ii) x-선 광자들을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성된다. An energy-dispersive x-ray spectroscopy (EDX) sensing unit, the EDX sensing unit include a protective unit and an x-ray sensor that includes one or more sensing regions. The protective unit is configured to (i) introduce a change in one or more properties of electrons emitted from a sample, thereby preventing the electrons emitted from the sample from reaching the one or more sensing regions, the electrons are emitted from the sample due to an illuminating of the sample by a primary electron beam, and (ii) increase a safety of operation of the EDX sensing unit. The x-ray sensor is configured to (i) receive, by the one or more sensing regions, x-ray photons emitted from the sample due to the illuminating of the sample, and (ii) generate detection signals indicative of the x-ray photons.