빔 분석 시스템을 포함하는 레이저 가공 장치 및 빔 특성의 측정 및 제어 방법

• Main Authors: KOLL ANDREW, LORD DAVID, UNRATH MARK, DAVIS JAY, HASTY JOE
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 22.02.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PERFORMING OPERATIONS; SOLDERING OR UNSOLDERING; TRANSPORTING; WELDING; WORKING BY LASER BEAM

레이저 가공 장치의 다수의 실시형태가 개시된다. 일 실시형태에서, 레이저 가공 장치는 레이저 에너지 빔을 생성하도록 작동하는 레이저원, 빔 경로 내에 배열되는 음향-광학 편향기(AOD), AOD에 커플링되는 제어기, 및 빔의 특성을 측정하고, 측정된 빔 특성을 표현하는 측정 데이터를 생성하고, 측정 데이터를, 그 측정 데이터에 기초하여 AOD의 작동을 제어하도록 작동하는 제어기에 송신하도록 작동하는 빔 분석 시스템을 포함한다. 다른 실시형태에서, 레이저 가공 장치는 검류계 미러의 교차축 워블의 특성화를 위한 시스템을 포함하고, 시스템은 기준 레이저 빔을 방출하도록 구성되는 기준 레이저원, 검류계 미러 상에 형성되고, 기준 빔의 포지션을 표현하는 신호를 제어기에 출력하도록 구성되는 센서에 기준 레이저 빔을 반사하도록 구성되는 반사 표면을 포함한다. Numerous embodiments of a laser-processing apparatus are disclosed. In one embodiment, the laser-processing apparatus includes a laser source operative to generate a beam of laser energy, an acousto-optic deflector (AOD) arranged within a beam path, a controller coupled to the AOD, and a beam analysis system operative to measure characteristics of the beam, generate measurement data representative of the measured beam characteristics, and transmit the measurement data to a controller operative to control the operation of the AOD based on that measurement data. In another embodiment, the laser-processing apparatus includes a system for characterization of cross-axis wobble of a galvanometer mirror, comprising a reference laser source configured to emit a reference laser beam, a reflective surface formed on the galvanometer mirror and configured to reflect the reference laser beam to a sensor configured to output a signal representative of the position of the reference beam to a controller.