하전 입자선 장치 및 시료의 해석 방법

• Main Authors: SUZUKI YUYA, NAKAMURA KUNIYASU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.02.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

하전 입자선 장치는, 경통(2)과, 전자선(EB1)을 조사 가능한 전자총(3)과, 스테이지(40)와, 시료(SAM)가 탑재된 시료대(30)를 반송하기 위한 반송구(20)와, X선을 검출 가능한 복수의 X선 검출기(50)를 구비한다. 스테이지(40)는 경통(2)의 내부에 있어서 전자총(3)의 하방에 마련된 탑재부(40c)를 갖는다. 탑재부(40c)는 적어도 광축(OA) 위를 개구하는 개구부(OP)를 갖는다. 시료대(30)가 탑재부(40c)에 탑재된 경우, 시료(SAM)는, 광축(OA) 위에 위치하도록 개구부(OP)의 내부에 위치한다....