하전 입자선 장치 및 시료의 해석 방법

• Main Authors: SUZUKI YUYA, NAKAMURA KUNIYASU
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.02.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

하전 입자선 장치는, 경통(2)과, 전자선(EB1)을 조사 가능한 전자총(3)과, 스테이지(40)와, 시료(SAM)가 탑재된 시료대(30)를 반송하기 위한 반송구(20)와, X선을 검출 가능한 복수의 X선 검출기(50)를 구비한다. 스테이지(40)는 경통(2)의 내부에 있어서 전자총(3)의 하방에 마련된 탑재부(40c)를 갖는다. 탑재부(40c)는 적어도 광축(OA) 위를 개구하는 개구부(OP)를 갖는다. 시료대(30)가 탑재부(40c)에 탑재된 경우, 시료(SAM)는, 광축(OA) 위에 위치하도록 개구부(OP)의 내부에 위치한다. 반송구(20)에 가장 가까운 X선 검출기(50a)에는, 이동 기구(51)가 전기적으로 접속되어 있다. X선 검출기(50a)는 이동 기구(51)에 의해, 탑재부(40c)에 접근하는 방향 또는 탑재부(40c)로부터 멀어지는 방향으로 이동할 수 있다. X선 검출기(50a)를 탑재부(40c)에 가장 접근시켰을 때의 X선 검출기(50a)의 위치는, 평면에서 볼 때 반송 경로(32)에 중첩된다. This charged particle beam device comprises a lens barrel 2, an electron gun 3 capable of applying an electron beam EB1, a stage 40, a conveyance port 20 for conveying a sample table 30 on which a sample SAM is mounted, and a plurality of X-ray detectors 50 capable of detecting an X-ray. The stage 40 has a mounting part 40c provided below the electron gun 3 within the lens barrel 2. The mounting part 40c has an opening OP that is open at least above an optical axis OA. When the sample table 30 is mounted on the mounting part 40c, the sample SAM is located within the opening OP so as to be located above the optical axis OA. A movement mechanism 51 is electrically connected to an X-ray detector 50a closest to the conveyance port 20. The X-ray detector 50a can move in a direction toward the mounting part 40c or a direction away from the mounting part 40c by the movement mechanism 51. The position of the X-ray detector 50a when the X-ray detector 50a is brought closest to the mounting part 40c overlaps a conveyance path 32 in plan view.