노광 장치, 제어 방법, 및 디바이스 제조 방법

• Main Authors: MIZUNO YASUSHI, NAKASHIMA TOSHIHARU, FUJIMURA YOSHIHIKO, KATO MASAKI
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 01.02.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

정밀도가 높은 노광을 고스루풋으로 실현하기 위해서, 노광 장치는, 기판을 유지하여 이동하는 기판 홀더와, 2 차원 배열된 광변조 소자를 갖는 공간 광변조기와, 상기 공간 광변조기에 조명광을 조사하는 조명 유닛과, 상기 기판 상에 있어서 제 1 방향 및 상기 제 1 방향에 수직인 제 2 방향으로 2 차원 배열된 광 조사 영역군의 각각으로 상기 광변조 소자로부터의 상기 조명광을 유도하는 투영 유닛을 포함하는 모듈과, 상기 기판 홀더를 주사 방향으로 구동시키는 제어부를 구비하고, 상기 광변조 소자는, 상기 주사 방향 및 그 주사 방향에 직교하는 비주사 방향에 대해서 소정 각도 θ (0°＜ θ ＜ 90°) 경사지게 2 차원 배열되고, 상기 제어부는, 상기 기판의 소정 범위를 노광할 때에, 상기 소정 범위 내에 조사되는 상기 광변조 소자 각각으로부터 출사되는 상기 조명광의 중심을 나타내는 스폿 위치가 지그재그 배치로 되는 속도로, 상기 기판 홀더를 주사한다. An exposure apparatus includes a substrate holder configured to hold a substrate and move, a module including a spatial light modulator having light modulation elements that are two-dimensionally arranged, an illumination unit irradiating the spatial light modulator with illumination lights, and a projection unit guiding the illumination light from the light modulation elements to respective light irradiation areas that are two-dimensionally arranged on the substrate in first and second directions, and a control unit configured to drive the substrate holder in a scanning direction, wherein the light modulation elements are two-dimensionally arranged to be inclined at a predetermined angle θ (0°<θ<90°) with respect to the scanning direction and a non-scanning direction orthogonal to the scanning direction, and when a predetermined region of the substrate is exposed, the control unit scans the substrate holder at such a speed that spot positions are arranged in a staggered arrangement.