SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

• Main Authors: YASUTOMO ATSUSHI, ITO TAKESHI, WAKABAYASHI TAKANORI
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 30.01.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

부품의 탈락을 방지하는 기판 지지 구조 및 기판 처리 장치를 제공한다. 기판과 맞닿는 기판 지지 부재와, 상기 기판 지지 부재와 연결되는 축 부재를 갖는 기판 지지 핀을 복수 구비하는 기판 지지 구조이며, 상기 기판 지지 부재는, 상기 기판과 맞닿는 기판 맞닿음면, 및 상기 축 부재와 맞닿는 제1 맞닿음면을 갖는 헤드부와, 상기 제1 맞닿음면의 측에 마련되는 삽입부를 갖고, 상기 삽입부는, 외주면에 수나사가 형성된 수나사부와, 상기 수나사부보다도 상기 제1 맞닿음면에 가까운 위치에 형성되고, 상기 수나사부보다도 직경이 작은 축부를 갖고, 상기 축 부재는, 상기 기판 지지 부재의 상기 제1 맞닿음면과 맞닿는 제2 맞닿음면과, 내주면에 상기 수나사부와 나사 결합 가능한 암나사가 형성된 관통부와, 상기 관통부와 연통되고, 상기 관통부보다도 상기 제2 맞닿음면으로부터 이격된 위치에 형성되고, 상기 수나사부보다도 내경이 큰 내부 공간을 갖는, 기판 지지 구조.