SERS SERS substrate capable of selectively controlling the intensity of Raman scattering signal and manufacturing method thereof

• Main Authors: LEE JONGSU, KIM TAEHYUN, RYU YONG SANG, YU EUI SANG, JEONG EUI TAE
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 30.01.2024
• Subjects: COLORIMETRY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF; MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MEASURING; NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS,MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES ASDISCRETE UNITS; NANOTECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIATION PYROMETRY; SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; TESTING; TRANSPORTING

본 발명은 나노섬 네트워크 구조를 갖는 금속나노박막층에 의한 표면 플라즈몬 공명을 통해 라만산란신호를 강화시키는 것에 더해 MDM(metal-dielectric-metal) 구조에 의한 패브리-페로 공명(Fabry-Perot resonance)을 통해 라만산란신호의 세기를 보다 더 증폭시킬 수 있으며, 유전체층의 굴절률 조절을 통해 패브리-페로 공명 파장의 제어가 가능하여 라만분광 레이저의 파장 등 다양한 환경 하에서도 라만산란신호의 세기를 선택적으로 조절할 수 있는 SERS 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 라만산란신호의 세기를 선택적으로 조절할 수 있는 SERS 기판은 기판 상에 하부금속층, 유전체층, 상부금속층이 순차적으로 적층된 구조를 이루며, 상기 유전체층은 내부에 빈 공간을 구비하며, 상기 상부금속층은 나노섬 네트워크 구조를 이루며, 라만분광 레이저의 조사시 패브리-페로 공명이 발생되도록 빈 공간의 크기 조절을 통해 유전체층의 굴절률이 제어되며, 라만분광 레이저의 조사시 상부금속층의 나노섬 네트워크 구조에 의해 표면 플라즈몬 공명이 발생되는 것을 특징으로 한다.