컴퓨터, 프로그램 및 하전 입자 빔 처리 시스템

• Main Authors: TOMIMATSU SATOSHI, MURAKI AYANA, SATO MAKOTO, ASAHATA TATSUYA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 23.01.2024
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

FIB-SEM 복합 장치에 있어서, 오퍼레이터에 의한 관찰 혹은 가공의 조건의 조정 및 설정의 작업을 경감할 수 있는 컴퓨터, 프로그램 및 하전 입자 빔 처리 시스템을 제공한다. 하전 입자 조사 광학계를 구비하는 하전 입자 빔 장치에서 실행되는 레시피에 관한 정보를 취득하는 정보 취득부와, 상기 정보 취득부에 의해 취득된 정보에 의거하여 레시피 관리 정보를 생성하여 상기 레시피 관리 정보를 기억 부에 기억하는 정보 관리부를 구비하는 컴퓨터이다. The present invention provides a computer, a program, and a charged particle beam processing system, with which it is possible to reduce adjustment and setting work of conditions for observation or machining by an operator in an FIB-SEM composite device. This computer comprises: an information acquisition unit that acquires information relating to a recipe to be executed by a charged particle beam device provided with a charged particle irradiation optical system; and an information management unit that generates recipe management information on the basis of the information acquired by the information acquisition unit and stores the recipe management information in a storage unit.