PHOTOACTIVE COMPOUNDS PHOTORESIST COMPOSITIONS INCLUDING THE SAME AND PATTERN FORMATION METHODS

• Main Authors: AQAD EMAD, CEN YINJIE, LI MINGQI, LABEAUME PAUL J, MARANGONI TOMAS, CAMERON JAMES F
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 23.01.2024
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

유기 양이온 및 화학식 1로 나타낸 음이온을 포함하는 광활성 화합물이 제공된다: [화학식 1] JPEGpat00116.jpg4134 식 중, X는 유기 기이고; Y1 및 Y2는 각각 독립적으로 비-수소 치환체이고; Y1 및 Y2는 함께 선택적으로 고리를 형성하고; Z2는 수소, 할로겐, 치환 또는 비치환된 C1-30 알킬, 치환 또는 비치환된 C3-30 시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C3-30 헤테로시클로알킬, 치환 또는 비치환된 C6-50 아릴, 치환 또는 비치환된 C7-50 아릴알킬, 치환 또는 비치환된 C7-50 알킬아릴, 치환 또는 비치환된 C6-50 아릴옥시, 치환 또는 비치환된 C3-30 헤테로아릴, 치환 또는 비치환된 C4-30 알킬헤테로아릴, 치환 또는 비치환된 C4-30 헤테로아릴알킬, 또는 치환 또는 비치환된 C3-30 헤테로아릴옥시이고; Z2는 그 구조의 일부로서 하나 이상의 2가 연결기를 선택적으로 추가로 포함하고; Z2 및 Y1 또는 Y2 중 하나는 함께 선택적으로 고리를 형성하고; X 및 Z2는 함께 선택적으로 고리를 형성하고; X 및 Y1 또는 Y2 중 하나는 함께 선택적으로 고리를 형성한다. A photoactive compound including an organic cation; and an anion represented by Formula (1):wherein X is an organic group; Y1 and Y2 are each independently a non-hydrogen substituent; Y1 and Y2 together optionally form a ring; Z2 is hydrogen, halogen, substituted or unsubstituted C1-30 alkyl, substituted or unsubstituted C3-30 cycloalkyl, substituted or unsubstituted C3-30 heterocycloalkyl, substituted or unsubstituted C6-50 aryl, substituted or unsubstituted C7-50 arylalkyl, substituted or unsubstituted C7-50 alkylaryl, substituted or unsubstituted C6-50 aryloxy, substituted or unsubstituted C3-30 heteroaryl, substituted or unsubstituted C4-30 alkylheteroaryl, substituted or unsubstituted C4-30 heteroarylalkyl, or substituted or unsubstituted C3-30 heteroaryloxy; Z2 optionally further comprises one or more divalent linking groups as part of its structure; Z2 and one of Y1 or Y2 together optionally form a ring; X and Z2 together optionally form a ring; and X and one of Y1 or Y2 together optionally form a ring.