하전 입자 광학 장치, 대물 렌즈 어셈블리, 검출기, 검출기 어레이 및 방법
본 발명은 샘플에 대한 서브 빔 경로를 따라 하전 입자 서브 빔을 가속하고, 검출기 어레이로부터 2차 하전 입자를 반발시키고, 거울 검출기 어레이를 사용하고, 다중 검출기 어레이를 사용하고, 하전 입자를 주로 검출하는 모드와 2차 입자를 주로 검출하는 모드 간에 전환할 수 있는 장치 및 검출기를 제공하는 것을 포함하는, 2차 하전 입자 및 후방 산란 하전 입자를 검출하는 다양한 기술을 제공한다. The present invention provides a various techniques for detecting secondary c...
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| Format | Patent |
| Language | Korean |
| Published |
19.01.2024
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| Summary: | 본 발명은 샘플에 대한 서브 빔 경로를 따라 하전 입자 서브 빔을 가속하고, 검출기 어레이로부터 2차 하전 입자를 반발시키고, 거울 검출기 어레이를 사용하고, 다중 검출기 어레이를 사용하고, 하전 입자를 주로 검출하는 모드와 2차 입자를 주로 검출하는 모드 간에 전환할 수 있는 장치 및 검출기를 제공하는 것을 포함하는, 2차 하전 입자 및 후방 산란 하전 입자를 검출하는 다양한 기술을 제공한다.
The present invention provides a various techniques for detecting secondary charged particles and backscatter charged particles, including accelerating charged particle sub-beams along sub-beam paths to a sample, repelling secondary charged particles from detector arrays, using mirror detector arrays, using multiple detector arrays, and providing devices and detectors which can switch between modes for primarily detecting charged particles and modes for primarily detecting secondary particles. |
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| Bibliography: | Application Number: KR20237039420 |