In-line transfer system

• Main Authors: CHOI MYUNG WOON, CHOI SANG GYU, HONG YE WON, JEON OK CHUL, PARK KWANG SOO, LEE HYUN CHAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.01.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

본 발명에 따른 인라인 이송시스템은, 좌측 및 우측 이송레일과, 상기 이송레일을 따라 이송되며 마스크와 기판 및 자석판이 탑재되는 셔틀과, 상기 셔틀이 이송레일을 따라 이송되도록 하는 이송수단을 포함하여 이루어진다. 상기 셔틀은 서로 평행하게 이격 배치되어 좌측 및 우측 이송레일에 이송 가능하게 대응되는 좌측 및 우측 받침대와, 상기 양측 받침대를 연결하는 브릿지를 포함하며, 상기 좌측 및 우측 받침대에는 상기 마스크의 양선단이 각각 안착되며, 상기 브릿지는 상기 마스크와 기판 및 자석판의 상방을 가로질러 상기 좌측 및 우측 받침대...