In-line transfer system

• Main Authors: CHOI MYUNG WOON, CHOI SANG GYU, HONG YE WON, JEON OK CHUL, PARK KWANG SOO, LEE HYUN CHAN
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 11.01.2024
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

본 발명에 따른 인라인 이송시스템은, 좌측 및 우측 이송레일과, 상기 이송레일을 따라 이송되며 마스크와 기판 및 자석판이 탑재되는 셔틀과, 상기 셔틀이 이송레일을 따라 이송되도록 하는 이송수단을 포함하여 이루어진다. 상기 셔틀은 서로 평행하게 이격 배치되어 좌측 및 우측 이송레일에 이송 가능하게 대응되는 좌측 및 우측 받침대와, 상기 양측 받침대를 연결하는 브릿지를 포함하며, 상기 좌측 및 우측 받침대에는 상기 마스크의 양선단이 각각 안착되며, 상기 브릿지는 상기 마스크와 기판 및 자석판의 상방을 가로질러 상기 좌측 및 우측 받침대를 연결하도록 구성된다. 또한 본 발명은 상기 증발원에서 배출되는 증착물질이 이송수단과 셔틀의 받침대 및 전자석 레일 과 이송레일에 점착되지 않도록 하는 방착수단을 포함하여 이루어진다. 상기 방착수단은 상기 좌측 이송레일의 저면과 내측면 및 셔틀의 좌측 받침대의 내측면을 커버하는 좌측 방착배플과, 상기 전자석 레일의 저면과 내측면과 우측 이송레일의 저면 및 셔틀의 우측 받침대의 내측면을 커버하는 우측 방착배플을 포함하여 이루어진다. 상술한 바와 같은 본 발명에 의한 인라인 이송시스템에 의하면, 증착물질에 의한 셔틀 및 이송레일의 오염이 적극적으로 방지되기 때문에 별도의 세정공정을 필요로 하지 않게 된다. 따라서 세정공정을 진행하기 위한 설비 또한 필요로 하지 않으며, 세정공정을 위한 시간이 소요되지 않기 때문에 결과적으로 OLED 디스플레이 장치의 제조 효율이 향상된다는 이점이 있다.