SYSTEMS AND METHODS FOR SYNCHRONIZING EXECUTION OF RECIPE SETS

• Main Authors: PUST BOSTJAN, VALCORE JR. JOHN C, SAN TONY
• Format: Patent
• Language: English; Korean
• Published: 20.12.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; TRANSMISSION OF DIGITAL INFORMATION, e.g. TELEGRAPHICCOMMUNICATION

레시피 세트들의 실행을 동기화하기 위한 시스템들 및 방법들이 기술된다. 방법들 중 하나는 명령 제어기에 의해 마스터 제어기로 레시피 세트를 전송하는 단계 및 플라즈마 시스템의 서브시스템 제어기에 의한 실행을 위해 레시피 세트를 마스터 제어기에 의해 전송하는 단계를 포함한다. 마스터 제어기로부터 서브시스템 제어기로 레시피 세트를 전송하는 동작은 클록 신호의 제 1 클록 사이클 동안 수행된다. 방법은 레시피 이벤트 신호를 명령 제어기에 의해 생성하는 단계 및 서브시스템 제어기에 의한 레시피 세트의 실행 시간을 나타내는 레시피 이벤트 신호를 명령 제어기에 의해 서브시스템 제어기로 전송하는 단계를 포함한다. 실행 시간은 제 1 클록 사이클에 이어지는 제 2 클록 사이클 동안 발생한다. 제 2 클록 사이클은 클록 신호의 사이클이다. Systems and methods for synchronizing execution of recipe sets are described. One of the methods includes sending by a command controller to a master controller a recipe set and sending by the master controller the recipe set for execution by a sub-system controller of a plasma system. The operation of sending the recipe set from the master controller to the sub-controller is performed during a first clock cycle of a clock signal. The method includes generating by the command controller a recipe event signal and sending by the command controller to the sub-system controller the recipe event signal indicating a time of execution of the recipe set by the sub-system controller. The time of execution occurs during a second clock cycle that follows the first clock cycle. The second clock cycle is of the clock signal.