MOUNTING PAD MOUNTING MECHANISM AND SUBSTRATE TRANSFER MECHANISM

[과제] 탑재 기구에의 기판의 들러붙음을 저감할 수 있는 탑재 패드, 탑재 기구 및 기판 반송기구를 제공한다. [해결 수단] 탑재 패드는, 대상물을 탑재하기 위한 탑재 패드로서, 베이스와, 베이스의 한쪽의 면에 마련되고, 당해 면의 외연을 둘러싸도록 당해 면의 면 방향에 교차하는 방향으로 돌출하고, 대상물과 접촉 가능한 환상의 외연부를 포함하고, 외연부 중 적어도 하나의 부분에서, 외연부의 두께가 외연부의 다른 부분의 두께와 상이하다. There is a mounting pad for placing an object, compris...

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Main Authors OBARA MASATO, TAKADA GAKUTO, TOKAIRIN KENTO, OSADA HIDEYUKI, NANASAKI GENICHI, MATSUMOTO SHUHEI
Format Patent
LanguageEnglish
Korean
Published 13.12.2023
Subjects
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
ELECTRICITY
HAND TOOLS
MANIPULATORS
PERFORMING OPERATIONS
PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS
SEMICONDUCTOR DEVICES
TRANSPORTING
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Summary:[과제] 탑재 기구에의 기판의 들러붙음을 저감할 수 있는 탑재 패드, 탑재 기구 및 기판 반송기구를 제공한다. [해결 수단] 탑재 패드는, 대상물을 탑재하기 위한 탑재 패드로서, 베이스와, 베이스의 한쪽의 면에 마련되고, 당해 면의 외연을 둘러싸도록 당해 면의 면 방향에 교차하는 방향으로 돌출하고, 대상물과 접촉 가능한 환상의 외연부를 포함하고, 외연부 중 적어도 하나의 부분에서, 외연부의 두께가 외연부의 다른 부분의 두께와 상이하다. There is a mounting pad for placing an object, comprising: a base; and an annular outer edge portion that is provided on one surface of the base, projects in a direction intersecting a surface direction of said one surface to surround an outer edge of said one surface, and is to be in contact with the object, wherein a thickness of the outer edge portion in at least one portion of the outer edge portion is different from a thickness of the outer edge portion in the other portions of outer edge portion.
Bibliography:Application Number: KR20230071556