패터닝된 기판 상에서의 구조화된 조명 현미경 검사 수행

구조화된 조명 현미경 검사(SIM) 시스템은: 광원; 기판 패턴을 갖는 기판에 있는 샘플의 조명을 수행하기 위해 광원으로부터의 광에 SIM 패턴을 제공하기 위한 광 구조화 컴포넌트 - 상기 SIM 패턴의 피치는 상기 기판 패턴의 특성에 기반함 -; 및 상기 샘플이 상기 조명에 반응하여 발생시키는 방출물을 검출하기 위한 이미지 센서를 포함한다. A structured illumination microscopy (SIM) system comprises: a light source; a light-structuring component...

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Main Authors MOON JOHN, REN HONGJI
Format Patent
LanguageKorean
Published 21.11.2023
Subjects
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
MEASURING
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
PHYSICS
TESTING
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Summary:구조화된 조명 현미경 검사(SIM) 시스템은: 광원; 기판 패턴을 갖는 기판에 있는 샘플의 조명을 수행하기 위해 광원으로부터의 광에 SIM 패턴을 제공하기 위한 광 구조화 컴포넌트 - 상기 SIM 패턴의 피치는 상기 기판 패턴의 특성에 기반함 -; 및 상기 샘플이 상기 조명에 반응하여 발생시키는 방출물을 검출하기 위한 이미지 센서를 포함한다. A structured illumination microscopy (SIM) system comprises: a light source; a light-structuring component to provide light from the light source with a SIM pattern for performing illuminations of a sample at a substrate having a substrate pattern, wherein a pitch of the SIM pattern is based on a characteristic of the substrate pattern; and an image sensor to detect emissions that the sample generates in response to the illuminations.
Bibliography:Application Number: KR20227046176