MEMS 소자 및 그 제조 방법

• Main Authors: KARASAWA YOSHIMITSU, FUKUTOME TAKAO
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 20.11.2023
• Subjects: DEAF-AID SETS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRICITY; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS; TRANSPORTING

본 발명은 개구부(1a)를 구비한 기판(1)과, 기판(1)상에 절연막(2)을 개재하여 형성되어 있으며, 주연부에 단부를 따라 슬릿(3a)이 간헐적으로 형성된 진동막(3)과, 기판(1)의 주연부에 형성된 스페이서(4)에 고정하여 형성되어 있으며, 중심부에 복수의 어쿠스틱 홀(5b)을 갖는 백 플레이트(5)를 구비한 MEMS 소자에 관한 것이다. 백 플레이트(5)는 복수의 어쿠스틱 홀(5b)의 외주부에서, 또한, 평면으로 보았을 때 진동막(3)의 슬릿의 최외주단보다 단부측의 위치에 에칭 홀(5c)을 가지고 있으며, 슬릿(3a)은 기판(...