마이크로 LED 디스플레이들의 제조를 위한 시스템들 및 방법들

• Main Authors: PATIBANDLA NAG B, NG HOU T, ZHANG DAIHUA
• Format: Patent
• Language: Korean
• Published: 10.11.2023
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

제1 분배 챔버는 발광 다이오드(LED) 디스플레이들의 제조를 위한 워크피스 상으로 제1 컬러 변환 프리커서를 전달한다. 제1 경화 스테이션은 워크피스를 경화하여 워크피스 상의 제1 세트의 LED들 위에 제1 컬러 변환 층을 형성한다. 제1 세정/건조 챔버는 워크피스로부터 제1 컬러 변환 프리커서의 경화되지 않은 부분들을 제거하고, 그 다음, 워크피스를 건조시킨다. 제2 분배 챔버는 제2 컬러 변환 프리커서를 워크피스 상으로 전달한다. 제2 경화 스테이션은 제2 컬러 변환 프리커서를 경화하여 워크피스 상의 제2 세트의 LED들 위에 제2 컬러 변환 층을 형성한다. 제2 세정/건조 챔버는 워크피스로부터 제2 컬러 변환 층의 경화되지 않은 부분들을 제거한다. 챔버들 각각은 독립적으로 밀봉 가능하다. 워크피스를 챔버들 사이에서 순차적으로 이동시키도록 컨트롤러가 워크피스 이송 시스템을 제어한다. An LED display fabrication tool includes a plurality of process chambers and a plurality of transfer chambers. The plurality of process chambers include first and second dispensing chambers to deliver first and second color conversion precursors onto a workpiece for fabrication of a light emitting diode (LED) displays, and first and second washing/drying chambers to remove uncured portions of the first and second color conversion precursors from the workpiece and then dries the workpiece. The plurality of transfer chambers are coupled to two process chambers by two respective sealable ports. First and second curing stations cure the precursors to form the first and second color conversion layers over a first set of LEDs on the workpiece.